合肥镀层测厚仪高品质的选择

一六仪器 ***测厚仪 多道脉冲分析采集,***EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件,LED和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.EFP算法结合精准***决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

测试面积是测厚仪器的一项很重要的参数，主要由准直器控制组成，但也受其它条件限制：

1、受高压、光管限制，因为需要这两装置提供足够荧光强度和聚焦。

2、受仪器结构限制，相同的准直器因安装的位置及与探测器的角度都影响测量面积，同样是直径0.2mm准直器Thick800A测量面积达到直径0.4mm，EDX1800B测量面积达到直径0.5mm，CMI900测量面积达到0.3mm,而XTU-A面积可以达到0.218.

薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1～104的原子层或分子层。在此方向上，薄膜具有微观结构。

理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的，其他的两维方向具有宏观大小。所以，表示薄膜的形状，一定要用宏观方法，即采用长、宽、厚的方法。因此，膜厚既是一个宏观概念，又是微观上的实体线度。

由于实际上存在的表面是不平整和连续的，而且薄膜内部还可能存在着***、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等，所以，要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。

经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念，而是由刚性球的原子（分子）紧密排列而成，是实际存在的一个物理概念。

形状膜厚：dT是***接近于直观形式的膜厚，通常以um为单位。dT只与表面原子（分子）有关，并且包含着薄膜内部结构的影响；

质量膜厚：dM反映了薄膜中包含物质的多少，通常以μg/cm2为单位，它消除了薄膜内部结构的影响（如缺陷、***、变形等）；

物性膜厚：dP在实际使用上较有用，而且比较容易测量，它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系，主要取决于薄膜的性质（如电阻率、透射率等）。

江苏一六仪器 X荧光光谱测厚仪

下照式设计：可以快速方便地***对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

接收：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速精准***样品。

EFP***算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。