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发布时间:2020-04-02 10:23:00
一六仪器 ***测厚仪 多道脉冲分析采集,***EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪
应用于电子元器件,LED和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.EFP算法结合精准***决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题
上照式:通常都有Z轴可移动,所以可对形状复杂的样品(如凹面内)做***并且测试,一般可***到2mm以内的深度,如Thick800A,另外有些厂商在此基础上配备了可变焦装置,搭配***的算法,可***到80mm以内的深度,如XDL237
下照式:通常都没有Z轴可移动,所以不可对凹面等无法直接接触测试窗口的位置进行***并测试,但操作简单,造价相对低;部分厂商或款式仪器搭载变焦装置也可测试复杂形状样品,同时也抬高了价格
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1~104的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小。所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,即采用长、宽、厚的方法。因此,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。
由于实际上存在的表面是不平整和连续的,而且薄膜内部还可能存在着***、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。
经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,是实际存在的一个物理概念。
形状膜厚:dT是***接近于直观形式的膜厚,通常以um为单位。dT只与表面原子(分子)有关,并且包含着薄膜内部结构的影响;
质量膜厚:dM反映了薄膜中包含物质的多少,通常以μg/cm2为单位,它消除了薄膜内部结构的影响(如缺陷、***、变形等);
物性膜厚:dP在实际使用上较有用,而且比较容易测量,它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透射率等)。
常规镀层厚度分析仪的原理
对材料表面保护、装饰形成的覆盖层,如涂层、镀层、敷层、贴层、化学生成膜等,在有关***和国际标准中称为覆层(coating)。覆层厚度测量已成为加工工业、表面工程质量检测的重要一环,是产品达到优等质量标准的必备手段。我们***的研发团队具备十年以上的从业经验,经与海内外多名***通力合作,研究开发出一系列能量色散X荧光光谱仪X荧光涂镀层测厚仪测试原理同样,L层电子被逐出可以产生L系辐射。为使产品国际化,我国出口商品和涉外项目中,对覆层厚度有了明确的要求。
覆层厚度的测量方法主要有:楔切法,光截法,电解法,厚度差测量法,称重法,X射线荧光法,β射线反向散射法,电容法、磁性测量法及涡流测量法等。
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