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一六仪器 ***测厚仪 多道脉冲分析采集,***EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件,LED和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.EFP算法结合精准***决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

软件算法

?大致分为3个方法。一个是制作测量线的方法（经验系数法）。这个方法是测定几点实际的已知厚度样品，寻求想测定元素的荧光X射线强度和厚度之间的关系，以其结果为基础测定未知样品取得荧光X射线，从而得到浓度值。

?另一个方法是理论演算的基础参数法（FP法）。这个方法在完全了解样品的构成和元素种类前提，利用计算的各个荧光X射线强度的理论值，推测测定得到未知样品各个元素的荧光X射线强度的组成一致。

?NBS-GSC法也称作理论Alpha系数法。将分光晶体和探测器装在测角仪上，使它在一定角度范围内转动，一次测量不同波长长谱线的强度，使用这种形式的光谱仪称为顺序扫描式光谱仪。它是基于荧光X射线激发的基本原理，从理论上使用基本物理参数计算出样品中每个元素的一次和二次特征X射线荧光强度的。基于此再计算Lachance综合校正系数，然后使用这些理论α系数去校正元素间的吸收增强。它与经验系数法不同，这些校正系数是从“理论”上取得的，而非建立在“经验”上。因而它也不需要那么多的标样，只要少数标样来校准仪器因子。

江苏一六仪器 X荧光光谱测厚仪

下照式设计：可以快速方便地***对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

接收：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速精准***样品。

EFP***算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。

一六 荧光测厚仪 十年以上研发团队 集研发生产销售一体

元素分析范围:氯(CI)- 铀(U) 厚度分析范围:各种元素及有机物

一次可同时分析:23层镀层,24种元素 厚度检出限:0.005um

江苏一六仪器 X射线荧光测厚仪工作原理

当原子受到X射线光子(原级X射线)或其他微观粒子的激发使原子内层电子电离而出现空位，原子内层电子重新配位，较外层的电子跃迁到内层电子空位，并同时***出次级X射线光子，此即X射线荧光。EFP算法结合精准***决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1～104的原子层或分子层。较外层电子跃迁到内层电子空位所释放的能量等于两电子能级的能量差，因此，X射线荧光的波长对不同元素是特征的，根据元素X射线荧光特征波长对元素做定性分析，根据元素释放出来的荧光强度，来进行定量分析如元素厚度或含量分析。

根据色散方式不同，X射线荧光分析仪相应分为X射线荧光光谱仪(波长色散)和X射线荧光能谱仪(能量色散)。X射线荧光光谱仪主要由激发、色散、探测、记录及数据处理等单元组成。激发单元的作用是产生初级X射线。2、分析速度快，无须进行样品预处理，升值无须样品的制备，X射线荧光光谱分析可以筛选大量的样品。它由高压发生器和***管组成。后者功率较大，用水和油同时冷却。色散单元的作用是分出想要波长的X射线。它由样品室、狭缝、测角仪、分析晶体等部分组成。通过测角器以1∶2速度转动分析晶体和探测器，可在不同的布拉格角位置上测得不同波长的X射线而作元素的定性分析。探测器的作用是将X射线光子能量转化为电能，常用的有盖格计数管、正比计数管、闪烁计数管、半导体探测器等。记录单元由放大器、脉冲幅度分析器、显示部分组成。通过定标器的脉冲分析信号可以直接输入计算机，进行联机处理而得到被测元素的含量。